Новгородские учёные усовершенствовали технологию производства микроэлектроники

В пресс-службе Новгородского государственного университета им. Ярослава Мудрого (НовГУ) сообщили, что учёные вуза модернизировали технологию вакуумного напыления для изготовления деталей микро- и наноэлектроники. Разработка решает проблему неравномерного нанесения слоёв, которая приводила к браку продукции.

Специалисты создали специальную заслонку с отверстиями особой формы для установки УВН 71-ПЗ. Это решение предотвращает попадание излишков материала на подложку и обеспечивает равномерное покрытие. Как пояснил участник проекта Дмитрий Корцов, принцип работы аналогичен использованию трафарета для равномерного нанесения сахарной пудры на кондитерские изделия.

Модернизация позволила предприятию сэкономить значительные средства — замена оборудования обошлась бы в 50 млн рублей, тогда как разработка новгородских специалистов потребовала гораздо меньших затрат. При этом установка заслонки не требует разбора станка, что сохраняет целостность производственной линии.

Разработка выполнена при поддержке Минобрнауки в рамках «Десятилетия науки и технологий». Технология может быть применена на других предприятиях, использующих аналогичное оборудование.