ASML назвала цену EUV-станков для печати чипов по нормам до 3 нм

ASML ранее сообщала, что ее оборудование для изготовления чипов следующего поколения с высоким числом апертуры в жестком ультрафиолете (EUV) будет стоить более чем в два раза дороже, чем существующие инструменты для литографии. Теперь компания ASML сообщила, что ее литографические машины High-NA Twinscan EXE будут стоить около 380 миллионов долларов (350 миллионов евро), сообщает Taipei Times. Напротив, существующие системы Low-NA Twinscan NXE EUV стоят около 170 миллионов евро (183 миллиона долларов), хотя их цены зависят от конкретных моделей и конфигураций. Кроме того, ASML сообщила Reuters, что на сегодняшний день она приняла от 10 до 20 заказов от компаний, включая Intel и SK Hynix, и планирует производить по 20 единиц оборудования в год к 2028 году.

Литографические инструменты ASML High-NA Twinscan EXE представляют собой вершину технологий компании. Каждое устройство весит 150 тонн, а для перевозки требуется 250 ящиков; затем на сборку одного станка уходит шесть месяцев усилиями 250 инженеров.

Новые оборудование ASML High-NA EUV Twinscan EXE способно обеспечить разрешение 8 нм, что значительно улучшит существующих EUV-сканеры с низкой числовой апертурой, которые могут достигать только 13 нм за одну экспозицию. Это позволяет производить транзисторы по техпроцессам примерно в 1,7 раза меньше, что приводит к почти трехкратному увеличению плотности транзисторов. Возможность достижения критических размеров 8 нм жизненно важна для производства чипов по техпроцессу менее 3 нм — цель, которую отрасль стремится достичь в период с 2025 по 2026 год.

Хотя системы литографии с низкой апертурой могут соответствовать такому разрешению и плотности транзисторов, они требуют более дорогой и сложной техники двойной экспозиции, известной как двойное формирование рисунка. Ожидается, что внедрение технологии High-NA EUV устранит необходимость в двойном нанесении EUV, упростит производство, потенциально повысит производительность и снизит затраты.

Однако это достижение также создает серьезные проблемы, поскольку инструменты EUV с высокой числовой апертурой более дороги и имеют вдвое уменьшенное поле изображения, что требует переосмысления конструкции чипов. Кроме того, новые системы литографии EUV с высокой числовой апертурой значительно крупнее, чем системы EUV с низкой числовой апертурой, что требует от производителей микросхем переосмысления своих производственных конфигураций.

В связи с этим разные производители чипов имеют разные планы по внедрению машин EUV с высокой числовой апертурой. В то время как Intel планирует использовать инструменты High-NA EUV со своей техпроцессом после 18A (класс 1,8 нм), TSMC, как сообщается, применяет более осторожный подход и использует эту технологию для своего узла класса 1 нм где-то в 2030 году, но компания не подтвердила точные сроки.

Сообщение ASML назвала цену EUV-станков для печати чипов по нормам до 3 нм появились сначала на Время электроники.