Veeco и imec представили первый в отрасли технологический процесс, совместимый с крупносерийным производством, который позволяет интегрировать титанат бария (BaTiO3 или BTO) на платформе кремниевой фотоники

Исторически сложилось так, что подходы к интеграции BTO не позволяли достичь желаемых показателей стоимости, чтобы сделать его пригодным для крупносерийного производства. Компании представили свою первую кластерную систему на основе молекулярно- лучевой эпитаксии (MBE).

Новая 300-миллиметровая платформа предназначена для эпитаксии монокристаллических тонких пленок BaTiO3 на кремнии, доступна как для твердотельной, так и для гибридной молекулярно-лучевой эпитаксии (MBE). Благодаря интеграции этих альтернативных методов роста система сможет осаждать BTO на кремнии с улучшенной воспроизводимостью и по более низкой цене, чем классические методы молекулярно-лучевой эпитаксии.

Ожидается, что рынок оптических приемопередатчиков для передачи данных вырастет до 13,1 млрд долларов в 2030 году по сравнению с 2,9 млрд долларов в 2024 году. Однако для устранения недостатков существующих технологий кремниевых модуляторов, в том числе высокого энергопотребления, низкой производительности (скорости, напряжения питания) и большой площади, внедрение новых электрооптических материалов, таких как BTO, в кремниевую фотонику будет иметь решающее значение.

В настоящее время не существует коммерчески доступного решения для производства этих материалов. В сотрудничестве с Veeco компания imec решает эту отраслевую задачу по разработке масштабируемых решений, позволяющих интегрировать такие материалы, как BaTiO3 и SrTiO3, в кремниевую платформу диаметром 300 мм.

Сообщение Veeco и imec представили первый в отрасли технологический процесс, совместимый с крупносерийным производством, который позволяет интегрировать титанат бария (BaTiO3 или BTO) на платформе кремниевой фотоники появились сначала на Время электроники.