Китай совершает прорыв в производстве 300-миллиметровых пластин RF-SOI
Команда использовала ресурсы исследовательской платформы 300 мм SOI Китайской ключевой лаборатории материалов для интегральных схем, систематически решая критические технические проблемы, необходимые для 300-мм пластин RF-SOI. Это включало производство кристаллов с низким содержанием кислорода и высоким сопротивлением, осаждение пленок поликристаллического кремния с высоким удельным сопротивлением и низким напряжением, а также бесконтактную планаризацию. Это достижение не только...
Читать дальше...